Principe de fonctionnement de la machine de revêtement sous vide

Une machine de revêtement sous vide est un appareil qui dépose de fines couches métalliques sur la surface d'un substrat. Son principe de fonctionnement de base est divisé en trois étapes : nettoyage, évaporation et dépôt.
1. Nettoyage
Avant le dépôt par évaporation, la chambre d'évaporation doit être nettoyée. Parce qu'il peut y avoir des oxydes, de la graisse, de la poussière et d'autres substances fixées à la surface de la chambre d'évaporation, celles-ci affecteront la qualité du film. Le nettoyage utilise généralement des méthodes chimiques ou physiques.
2. évaporation
Le matériau souhaité est chauffé au-dessus de son point de fusion afin de former des molécules gazeuses. Les molécules gazeuses s'échappent ensuite de la chambre à vide vers la chambre d'évaporation. Ce processus est appelé évaporation. La température, la pression et le taux d'évaporation affectent la composition, la structure et les propriétés du film.
3. Dépôt
Les molécules gazeuses du matériau dans la chambre d'évaporation pénètrent dans la chambre de réaction par le tuyau à vide, réagissent avec le matériau actif, puis déposent le produit sur la surface du substrat. Ce processus est appelé sédimentation. La température, la pression et la vitesse de dépôt affectent également la qualité et les performances du film.
2. Demande
Les machines de revêtement sous vide sont largement utilisées dans la science des matériaux, l'optique, l'électronique et d'autres domaines.
1. Science des matériaux
Les machines de revêtement sous vide peuvent préparer des films minces de divers métaux, alliages, oxydes, silicates et autres matériaux, et sont largement utilisées dans les revêtements, les films optiques, le stockage optique, les écrans, les transistors et d'autres domaines.
2. Optique
La machine de revêtement sous vide peut préparer des films métalliques et alliés à haute réflectivité et des films optiques dotés de fonctions spéciales. Ces films peuvent être utilisés dans les panneaux solaires, les microscopes électroniques hautes performances, les aérogels, les capteurs UV/IR, les filtres optiques et d'autres domaines.
3. Électronique
Les machines de revêtement sous vide peuvent préparer des matériaux électroniques et des dispositifs microélectroniques à l’échelle nanométrique. Ces films peuvent être utilisés dans les nanotransistors, les mémoires magnétiques, les capteurs et d'autres domaines.
En bref, la machine de revêtement sous vide peut non seulement préparer divers matériaux en couches minces, mais également préparer des films minces dotés de fonctions spéciales selon les besoins. À l’avenir, la technologie de revêtement sous vide sera plus largement utilisée et encouragée.